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(1)真空有利于打掃吸附氣體，對促進燒結后期的縮短作用顯著。
(2)真空有利于硅，鋁，鎂，鈣等雜質或其氧化物的打掃，起到提純資料的作用。
(3)真空可改善液相燒結的濕潤性，有利于燒結過程中的縮短和改善合金的安排結構。
(4)真空是志趣的慵懶氣氛，當不宜用其他還原性或慵懶氣體時，或許對簡略出現脫碳，滲碳的資料，均可選用真空燒結爐。
(5)減少氣氛中的有害成分(水，氧，氮等)對產品的玷污。例如，電解氫中的含水量要求降至露點-40℃較為困難;而真空燒結時，真空度只需在數百Pa就相當于含水量為露點-40℃。
